Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Категория: учебники и пособия для вузов
ISBN: 978-5-507-45479-2
Правообладатель: Издательство ЛАНЬ
Легальная стоимость: 852.00 руб.
Ограничение по возрасту: 0+
Комментарии ():