Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки

4.4 из 5, отдано 20 голосов

Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Категория: учебники и пособия для вузов

ISBN: 978-5-507-45480-8

Правообладатель: Издательство ЛАНЬ

Легальная стоимость: 1066.00 руб.

Ограничение по возрасту: 0+

Читать книгу «Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки» онлайн:

Комментарии ():